AE射频电源互锁和限制

本文由AE射频电源维修售后工程师整理提供，维修电话13790663326，更多有关AE射频电源维修技术请联系。

所有CESAR发电机都有一个联锁接口。此界面允许您

将任何CESAR发生器集成到系统联锁回路中

中断所输送的RF功率。即使您没有连接此CESAR

发电机变成一个更大的系统联锁回路，你必须做出正确的

装置的联锁回路连接，以启用射频功率。

Dressler®HF Technik GmbH的产品仅包括联锁装置和

产品规范要求的限制。联锁和限制

Dressler®HF Technik GmbH的产品并非旨在满足或满足

安全要求。如果存在联锁或限制，您仍必须满足

并满足安全要求。存在联锁或限制

并不意味着操作员受到保护。1-8安全和产品合规指南CESAR 136（E）

Dressler®HF Technik GmbH

CESAR发电机可能附带联锁跳线插头

提供互锁销之间的连接。你可以用这件套头衫

插头，以满足互锁，并在需要的情况下启用操作

不打算连接此端口上的其余引脚。

有关满足联锁信号的更多信息，请参阅：

4如果您有25针用户端口，请参阅

第4-11页。

4如果您有一个15针用户端口和9针互锁连接器，请参阅“用户

端口--15针用户端口”。

此外，CESAR生成器包括中所述的特定限制

表1-4。要从限制条件中恢复，请参阅“故障排除指南”

或表中列出的具体交叉引用。

使用互锁跳线插头将禁用互锁功能。

表1-4。CESAR发电机限值

限制单元响应和用户解决方案

射频功率限制当装置达到正向或反射时

功率限制，该装置将正向功率降低到

保持在限制范围内。输出不在设定点。

有关详细信息，请参阅中的W11、W12和W13

第6-11页表6-2。

另请参见第4-14页表4-2中的引脚14或引脚5

在第4-32页的表4-4中，取决于

选项。要确定您的选项

有，请参阅上的“了解型号136选项”

第1-2页。

超温当机组超过规定的最大值时

温度、射频电源关闭，以及设备

显示错误代码。有关的信息

解决过热情况，请参阅E10

和第6-8页表6-1中的E11。

另请参见第4-14页表4-2中的引脚22或引脚4

在第4-32页的表4-4中，取决于

选项。要确定您的选项

有，请参阅上的“了解型号136选项”

第1-2页

射频电源维修服务品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO，MKS,AMAT，相干，RFPP

HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN，ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH   LAMP、ESC HV PSU，ADL       

维修项目

1.)电源维修

维修尖端精密设备电源配件，主要有高压电源（High Power Supply）、DC、

射频电源(RF Generator)、微波电源，中频电源及匹配器RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。

2.)分子泵控制器维修

CTI,浦发，爱发科，岛津，varian等各种分子泵控制器维修

3.)流量计/真空规维修

Inficon,MKS,BROOKS,浦发，varian,horiba,bronkhosrt

4.)RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源/匹配器

2、MKS ENI 射频电源及匹配器维修

3、DAIHEN 4、KYOSAN射频电源/匹配器维修

5、COMDEL射频电源及匹配器维修

6、ADTEC射频电源及匹配器维修

7、SEREN射频电源及匹配器维修

8、安捷伦ICPMS电源维修

9、赛默飞ICP射频电源维修，NUM icp射频电源维修

8、RFPP

5.)RF MATCH(射频电源匹配网络)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

7、安捷伦

8、赛默飞

9、num

6.)高压电源

1、HiTek Power supply高压电源

2、ADVANCE HIVOLT高压电源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源

5、SPELLMAN高压电源

6、Varian高压电源

7、其他品牌

7.)直流电源

1、LAMDBA ESS/EMI直流电源

2、Delta ELEKTRONIKA直流电源

3、SORENSEN直流电源

4、AMETEK可编程电源

5、POWER TEN直流电源

6、灯丝电源、X射线电源

7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

8).微波电源发生器

1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

3、ASTeX Smart Match

4、mks

东莞全芯致力于半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳 能生产设备、电镀行业设备电子备件，医疗设备电子，科研院所，真空镀膜等行业，致力于各种大功率开关 电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修，RF电源维修、高频电源维修、ups 电源，分子泵控制器维修，电路板，流量计，真空计等尖端精密电子维修和技术服务 。从业二十年，有着丰富原厂的技术支援，有绘制完整的原理图，和各种电源固件，修复率，维修速度快，测试和校准化符合工业规范，达到出厂标准 服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统。