comdel clx 射频电源维修

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一、comdel射频电源常见故障

1、偏置电源许多AE射频放大器利用前级的电源来提供直流偏置。图 2 显示了晶体管 Q 1的偏置是如何产生的。来自前一级的 RF 由 Q 1的基极-发射极结进行整流。电流流经 R 1和变压器接地。C 1的电抗在 RF 处很低，因此 RF 绕过了电阻。C 1还用于过滤射频脉冲并在 R 1上产生直流电压。在 Q 1的基极，该直流电压相对于地为负。因此，Q 1将是一个 C 类放大器，仅在正 RF 峰值上进行。图 1 显示了您可以使用示波器观察到的 Q 1基极的瞬时电压。

2、短路C l如果 C 1短路，过度驱动将达到 Q 1。不会产生 Q 1的负偏差。这将导致 Q 1消耗过多的电流并自毁。如果 Q 1损坏，请务必在 Q 1之前检查所有组件，然后再更换它。

3、输出网络现在考虑 Q 1输出侧组件中可能出现的故障。常见故障是阻塞电容短路、调谐电容过热和扼流圈开路。

二、           解决方法

6. 几个参考数据

射频功率源驻波比≤1.5

磁控溅射功率密度5～10 W/cm2

磁控溅射压强0.5～数Pa

自偏压:100V～500V（自偏压与真空度、功率密度、磁控强度、靶材等有关）

7. 几种故障的判断

在正常工作时，如果发生跳闸现象，则直流供电部分出现故障。

Ua突然变大时，电子管损坏的可能性大。

有Ua无Ia时，驱动板有故障或高频插头接触不良。

射频功率源及其它仪表的安装

射频功率源通常用于和等离子设备配套，该设备除主机及射频源以外，还有其它真空仪表，如质量流量计、真空计、分子泵、温控仪表、微机等，如果安装不合理，射频源会干扰这些真空仪表。

1) 射频源的安装：要将匹配器的机箱与真空室尽可能靠近，匹配器安装在机柜内的，要将机柜与真空室尽可能靠近，能直接与真空室或工作台接触最好，如无法接触，要用纺织线以最短的距离将它们连接起来（功率较大的射频源已与真空室接触好）

三、comdel射频电源常见维修型号

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